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Dry Etching Technology for Semiconductors
Springer, Berlin; Springer International Publishing (9783319102948 / 123 black & white illustrations, 5 black)
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| Marke | ![]() Springer ist ein Verlag, der vor allem wissenschaftliche Literatur publiziert. Er hat seinen Hauptsitz in Berlin und ist international tätig. |
| MPN | Springer, Berlin; Springer International Publishing 123 black & white illustrations, 5 black |
| ISBN | Springer, Berlin; Springer International Publishing 331910294X |
| ID | 11909561 |
| Abmessungen / Gewicht | |
| Hauptmerkmale | |
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